مىكرو تىپلىق ئېلېكتر مېخانىكلىق سىستېما

ئېلېكترون، ئۇچۇر مىكرو تىپلىق ئېلېكتر - مېخانىكلىق سىستېما 微型机电系统 wēi xíng jī diàn xì tǒng